广东中科半导体微纳制造技术研究院是贯彻落实《广东省人民政府——中国科学院“十三五”全面战略合作协议》，由佛山市人民政府、佛山市南海区人民政府共同建设，中国科学院苏州纳米所支持的省属事业单位。研究院聚焦芯片制造核心环节，围绕“提升粤港澳大湾区半导体产业自主创新能力、服务区域产业提质与经济高质量发展”战略定位，通过“概念验证+产品中试+产业孵化育成”三位一体的新型运营模式，致力于建设成为国内有影响力的半导体产业公共技术支撑平台、产业人才培训基地与产业孵化高地。研究院建成半导体材料外延与微纳加工平台，是华南地区配套最完善的超净实验平台，针对Si基MEMS传感器、GaN基材料与器件，开展大尺寸GaN外延材料生长、芯片微纳加工、器件测试、器件封装等全流程研发、小试及中试公共服务，解决中小企业在发展过程中面临自建产线投资大、周期长以及外部代工排产难等痛点问题。依托中试平台，研究院建成6万㎡专业半导体产业园，其中超净空间4万㎡、办公孵化载体2万㎡，致力于打造一站式服务特色产业园区，实现芯片企业“入驻即生产”。