西安励德微系统科技有限公司是国内领先的提供MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一体化解决方案的高新技术企业。公司建有千平8英寸MEMS产线一条，涵盖深硅刻蚀、双面光刻、薄膜、清洗、大压力晶圆键合和隐形划片等全产业链工艺设备和对应的测试能力，研发中试线能够完成从器件设计、工艺开发、工艺验证到批量生产等全产品孵化流程，为国内众多半导体龙头企业、多家顶尖微机电研究院所、多所“双一流”高等院校及科研团队提供了切实可行的定制化MEMS加工解决方案。 我们针对硅晶圆、玻璃、SOI及各类柔性材质等不同基底分别建立相应标准制程平台，擅长各种复杂的体硅工艺和SOI工艺，提供的MEMS解决方案涵盖多个领域，包括MEMS微振镜、超透镜、光路耦合器、各类惯性器件、硅通孔、微流控器件等。 此外，公司还深谙硅通孔(TSV)技术以及三维柔性封装等前沿MEMS领域，持续赋能医疗、通信、消费电子、航空航天等众多行业的技术创新与发展。